超安静运动,20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R);(.R);空间传感分辨率(.R)1 mrad • 最小步伐优于 3 urad • 可提供多轴堆叠安装转接件
RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台
特点:
• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R);(.R);空间传感分辨率(.R)1 mrad
• 最小步伐优于 3 urad
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台选型表
型号
RS35.Lab.R/O
RS65.Lab.O
底面尺寸×高度(mm)
35×35×15
65×65×18
主体材质(°)
默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版本)
自重
90g(.R)
200g(.O)
运动行程(°)
连续运动
最大速度(°/s)
– 15
-10
最小步伐
3 urad (0.000172°)
重复定位精度
驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
最大负载(kg)
0.5
1
自锁力(N*mm)
10
15
驱动力矩(N*mm)
7
旋转盘(mm)
Dia-33.5
Dia-62
位置传感类型
- 电阻型传感( .R )
- 光栅尺传感(.O )
位置传感量程
300 °
360 °
位置传感分辨率
1 mrad(0.057°)
0.44urad(25u°, 默认),0.21urad,
0.11urad可选
尺寸图