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RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台

RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台

产品介绍

超安静运动,20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R);(.R);空间传感分辨率(.R)1 mrad • 最小步伐优于 3 urad • 可提供多轴堆叠安装转接件

特点

RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台

 

特点:

• 超安静运动,20HZ驱动频率

• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R);(.R);空间传感分辨率(.R)1 mrad

• 最小步伐优于 3 urad

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台,摇摆台

• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件




规格参数

命名规则

3-1.jpg

RSxx.lab.O/R系列压电纳米旋转台选型表

 

型号

RS35.Lab.R/O

RS65.Lab.O

底面尺寸×高度(mm)

35×35×15

65×65×18

主体材质(°)

默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版本)

自重

90g(.R)

200g(.O)

运动行程(°)

连续运动

连续运动

最大速度(°/s)

– 15

-10

最小步伐

3   urad (0.000172°)

重复定位精度



驱动频率

Max. 20   kHz (超安静运动)

最大负载(kg)

0.5

1

自锁力(N*mm)

10

15

驱动力矩(N*mm)

7

10

旋转盘(mm)

Dia-33.5

Dia-62

位置传感类型

电阻型传感( .R )

光栅尺传感(.O )

位置传感量程

300   °

360   °

位置传感分辨率

1   mrad(0.057°)

0.44urad(25u°, 默认),0.21urad,

0.11urad可选


尺寸图

3-2.jpg