超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选 • 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
特点：
• 超安静运动，20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
压电纳米角位移台命名规则
压电纳米角位移台选型表
型号
GS65-77.Lab.O
GS65-97.Lab.O
底面尺寸×高度（mm）
70×70×20
主体材质
默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版本
自重
650g
运动行程（°）
+/- 10
摇摆半径（mm）
77
97
最大速度（°/s）
– 3
最小步伐
1 urad (0.000057°)
重复定位精度
驱动频率
Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（g）
1000
自锁力（N*mm）
50
驱动力矩（N*mm）
20
位置传感类型
- 光栅尺传感（.O ）
位置传感量程
20 °
位置传感分辨率
0.12urad(6.7m°, 默认); 0.06urad,
0.03urad可选
0.1urad(5.4m°, 默认); 0.05urad,
0.02urad可选
尺寸图
