最小步伐尺寸约 20nm • 最高速度10 mm/s • 闭环传感，空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm • 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件 • 主体铝合金(硬质氧化发黑)
特点：
• 最小步伐尺寸约 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件
• 主体铝合金(硬质氧化发黑)
中空压电载物台特点：
命名规则
中空压电载物台选型表
型号
Carrier.L7550.XY
Carrier.L1010.XY
Carrier.R200
外形尺寸（mm）
250×200×30
250×250×40
200×200×24
主体材料
铝合金
自重（g）
2333
4000
2000
运动行程（mm）
75×50
100×100
连续运动
最小安装尺寸（mm）
325*250*30
350*250*40mm
200*200*24
通孔尺寸（mm）
85*65
120*120
60
最大速度（mm/s）
– 15
– 10
/
最小步伐（nm）
～ 20
重复定位精度
驱动频率
Max. 20 kHz
最大负载（kg）
2
4
1
全行程俯仰/偏摆
位置传感类型
位置传感量程（mm）
300°
位置传感分辨率
- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
推荐使用温度
15-40℃
尺寸图
