压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列

外形尺寸（mm）

Ø150×112 mm

主体材料

不锈钢/铝合金

运动参数

行程 X, Y, Z

± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

行程 ΘX, ΘY , ΘZ

± 10 °, ± 10   °, ± 20 °

单向重复定位精度 X, Y, Z

± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um

单向重复定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ

± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad

最小位移 X, Y, Z

0.1   um, 0.1 um, 0.1 um

最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ

5   urad, 5 urad, 5 urad

位置传感参数

集成传感器

光学编码器

位置传感分辨率

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

控制器信息

工作电压

220   V

控制器通道

6通道输出控制

通讯接口

USB，232，网口通讯

控制软件

提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制