特点： • 最快稳定时间(90% 位置稳定) 15ms 以内 • 闭环分辨率优于 1nm • 最大负载 500 g • 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series • 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列特点：
• 最快稳定时间(90% 位置稳定) 15ms 以内
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 500 g
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列命名规则
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列选型表
型号
Carrier.OB.050.C
Carrier.OB100.C
Carrier.OBHL100.C
外形尺寸
详见各型号尺寸图
材质
不锈钢/铝合金
自重（g）
270
500
运动方向
Z 轴
行程（um）
50
100
线性度
0.02%
0.03%
内置传感器
电容式传感
传感器噪声（nm）
1
Z方向分辨率，开环（nm）
0.2
稳定时间 (90%位置到达)（ms）
10
15
共振频率（无负载）（Hz）
600
900
共振频率（150 g 负载）（Hz）
300
250
亚纳米物镜自动对焦台Carrier.OBHLxx.C.HV系列尺寸图
