特点： • X方向扫描运动15um,3 um • 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm • 闭环分辨率优于0.1nm • 电容位置传感 • 高速运动响应 • 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 选件升级
特点：
• X方向扫描运动15um,3 um
• 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 闭环分辨率优于0.1nm
• 电容位置传感
• 高速运动响应
• 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 选件升级
亚纳米高动态压电扫描台选型表
型号
SD15.x.C
SD30.x.C
运动方向
X方向
底面尺寸×高度（mm）
62×40×13.5
80×40×13.5
主体材料
铝合金
自重（g）
250
350
运动行程（um）
15（闭环）
30 （闭环）
运动分辨率（nm）
0.1
0.2
运动可重复精度（nm）
2
4
线性误差
优于 0.035%
摇摆（urad）
俯仰（urad）
共振频率（kHz）
3.3
2.2
共振频率 (300g）（kHz）
1
0.625
刚性（N/um）
28
18
闭环传感器（闭环版本）
电容式
推荐使用温度
-20 ~ 80 °C
亚纳米高动态压电扫描台尺寸图
