三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um
特点：
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um
• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm
• 闭环分辨率优于0.3nm
• 最大负载 10 kg
• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级
选型表
型号
SH30.xyz.0 /.C
运动方向
X ,Y ,Z 方向
底面尺寸×高度（mm）
160×160×35
主体材料
不锈钢
自重（g）
4000
运动行程（um）
30×30×15
运动分辨率（nm）
0.1(开环) 0.3(闭环)
运动可重复精度（闭环）（nm）
<3
偏摆角度（urad）
20/ 20 / 50
共振频率 (空载)（Hz）
50
最大负载（kg）
10
闭环传感器（闭环版本）
电容式
驱动电压（V）
150
推荐使用温度
-20 ~ 80 °C
亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图
