• 紧凑设计、XYZ三轴在较小外形尺寸范围内做到较大行程 • 高负载，负载可至500g • 闭环精度优于1nm • 支持超高真空、无磁版本选用
亚纳米标准压电扫描台特点：
• 紧凑设计、XYZ三轴在较小外形尺寸范围内做到较大行程
• 高负载，负载可至500g
• 闭环精度优于1nm
• 支持超高真空、无磁版本选用
命名规则
亚纳米标准压电扫描台选型表
型号
S100.z.C /S
S300.x.C
S100.xy /xyz.C
运动方向
Z方向
X方向
S100.XY : X，Y方向
S100.XYZ : X，Y，Z 方向
底面尺寸×高度（mm）
40×40×18
50×50×17
55×55×40
主体材料
铝合金 & 不锈钢
自重（g）
150
200
500
运动行程（um）
100(闭环)
300 (开环)
250 ( 闭环)
S100.xy.C :100×100
S100.xyz.C : 100×100 ×100
运动分辨率（nm）
0.2
1
0.2 (开环) 1 (闭环)
运动可重复精度（nm）
± 5
士10
< 10
线性误差
优于0.02%
优于0.1%
优于 0.1%
共振频率（Hz）
350
X，Y: 400 ，350
Z: 300
刚性（N/um）
0.5
/
闭环传感器（闭环版本）
电容式
驱动电压
150V
Max.150 V
推荐使用温度
-20~80°C
亚纳米标准压电扫描台尺寸图
