• 闭环分辨率优于 1nm • 最大负载 3.5 kg • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案 • 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
特点：
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5 kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
亚纳米转镜压电偏转台命名规则
亚纳米转镜压电偏转台选型表
型号
Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy1010
Mirrors.Z12TxTy0101
运动方向
TX,TY
Z，Tx & Ty 向
底面尺寸×高度（mm）
详见工程图
主体材料
铝合金 & 不锈钢
运动行程
θX, 3 mrad
θy, 3 mrad
Θx,10mrad
Θy,10mrad
12 um / 1 mrad / 1mrad
运动分辨率 (开环)
0.05urad（开环）
0.2urad（开环）
Z：0.2 nm； Tx：0.05
urad；Ty：0.05 urad
运动分辨率 (闭环)
0.1urad（闭环）
0.5urad（闭环）
Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；
Ty：0.1 urad
线性误差
<0.1%
0.2%
共振频率 (空载)
2 kHz
1 kHz
5.5 kHz
摇摆半径
5.5mm
/
闭环传感器（闭环版本）
SGS
电阻式
驱动电压
Max.150V
推荐使用温度
-20~80℃
搭配控制器
Archimedes.3S控制器
镜片重量
30g
尺寸图
