闭环分辨率优于 1nm • 最大负载 3.5 kg • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案 • 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
特点：
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5 kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
CarrierHS100.xxx.C/S系列中空压电扫描台命名规则
CarrierHS100.xxx.C/S系列中空压电扫描台选型表
型号
Carrier.HS100.z.C
Carrier.HS100.xy.C
Carrier.HS100.zTxTy.C
Carrier.S100.xyRz.C
工作环境
.NM， 绝对无磁版本；
.UHV，超高真空版本；
运动方向
Z方向
XY 方向
Z，θx & θy
XY 方向 + Rz旋转
底面尺寸×高度（mm）
150×50×30
150×150×30
主体材料
铝合金 & 不锈钢
自重（g）
1000
运动行程
100 um
100 um ×100 um
100 um，1 mrad & 1mrad
100 um x 100 um Rz:1 mard
中空透孔（mm）
66×66
线性度误差（z方向运动）
0.035%
俯仰/偏摆/旋转
50 urad / 50 urad / 10 urad
/
运动分辨率（闭环/开环）
1 nm / 0.3 nm
1 nm / 0.2 nm
1 nm / 0.5 nm
运动可重复精度
± 10 nm
± 10 nm, ± 0.1urad
刚性（N/ um）
2.5
2
共振频率（空载/2.5 kg）
500 Hz/ 200 Hz
420 Hz/ 130 Hz
480 Hz/ 160 Hz
最大负载（kg）
5
3.5
闭环传感器（闭环版本）
电容式
驱动电压
Max. 150 V
推荐使用温度
-15 ~ 40 °C
尺寸图：
