亚纳米级运动控制 • 高速响应50 kHz • 最大行程18um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer • 控制器兼容多场科技MC- Archimedes.20 • 超高真空兼容，无磁场兼容
特点：
• 亚纳米级运动控制
• 高速响应50 kHz
• 最大行程18um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer
• 控制器兼容多场科技MC- Archimedes.20
• 超高真空兼容，无磁场兼容
压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.Nano.Set系列选型表
型号
AutoScrew.Nano
主体材料
铝合金 / 不锈钢
自重（g）
9.5g
运动行程
18 um
开环分辨率
Inm
驱动电压
0-120V
电容
550 nF
最大推力
300N
最大频率
50 kHz
使用温度
10~40℃
压电镜架与压电螺纹副AutoScrew.Nano.Set系列尺⼨图
