超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
LSxxX.lab.O/R系列压电纳米线性位移台特点：
• 超安静运动，20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
•高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
LSxxX.lab.O/R系列 压电纳米线性位移台选型表
型号
LS25x.Lab.R
LS35x.Lab.o/R
LS65x.Lab.O/R
底面尺寸×高度（mm）
25×25×10
35×35×12
65×65×13
主体材质
默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版）
自重（g）
40g
102g（.R）200g(.O)
200g(.O)
运动行程（mm）
8
20
30
最大速度（mm/s）
-20
最小步伐（nm）
~15
~10
重复定位精度（nm）
/
300
200
驱动频率
Max. 20 kHz （超安静运动）
最大水平推力（N）
2
保持力
5
全行程俯仰/偏摆
0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°）
水平负载
500g
2000g
竖直负载
200g
150g
位置传感类型
- 电阻型传感（ .R ）
-电阻型传感（ .R ）
-光栅尺传感（.O ）
位置传感量程（mm）
位置传感分辨率
- 150nm
电阻型传感（ .R ），
100-200 nm
- 光栅尺传感（.O ），
10 nm(默认);
4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm
- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认);
尺寸图
