• 超安静运动，20HZ驱动频率 • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0) • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选 • 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台特点：
• 超安静运动，20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台选型表
型号
LS35z.Lab .O / .R
LS65z.Lab.O / .R.
底面尺寸×高度（mm）
35×35×33
65×65×42.5
主体材质
默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版）
自重（g）
102g（.R）200g(.O)
300g(O)
运动行程（mm）
10
最大速度（mm/s）
-10
最小步伐（nm）
~10
重复定位精度
驱动频率
Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（g）
500
全行程俯仰/偏摆
0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°）
位置传感类型
-电阻型传感（ .R ）
-光栅尺传感（.O ）
位置传感量程（mm）
位置传感分辨率
- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm
- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
尺寸图
